TS系列主动隔振台-激光扫描显微镜-应用

TS系列主动隔振台-激光扫描显微镜-应用 背景简介：

TS系列主动隔振台-激光扫描显微镜-应用 美国依视路的研究人员观察到大量振动噪声，限制了其Keyence VK-X250 3D激光扫描共聚焦显微镜。产生的振动噪声影响了其表面粗糙度的测量，从而导致结果不准确。为了解决这些问题，Essilor根据环境的严峻程度为其仪器找到了最佳解决方案：Herzan TS-140主动隔振台。通过将TS-140主动隔振台与Keyence VK-X250共焦显微镜集成在一起，可显着降低测量中由于振动而产生的噪声。 现在，客户已经能够更准确地测量各种表面粗糙度参数，例如算术平均高度（Ra）和均方根高度（Rq）。

设备：

Keyence VK-X250 3D 激光扫描共聚焦显微镜

最终用户：

Nathan Payne, Essilor USA

隔振系统：

TS-140主动隔振台

TS-140/LP主动隔振台是一款紧凑型动态隔振系统，六个自由度全方位隔振，即插即用系统，可用于抵消工作环境对高灵敏度精密设备产生的不必要振动，以提高精密设备的工作性能。适用于各类透射式电子显微镜(TEM)、扫描式电子显微镜(SEM)、发射式电子显微镜、探针显微镜、扫描隧道显微镜、原子力显微镜（AFM）、横向力显微镜等隔振应用。

隔振性能：镀铬零件表面图像对比

左图：不含TS系列的镀铬零件表面图像

Ra (nm): 11.47

Rq (nm): 14.16

右图：包含TS系列的镀铬零件表面图像

Ra (nm): 8.93

Rq (nm): 11.52