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气浮减震台-光学减震台-气浮台-减震台 h-HOA

气浮减震台-光学减震台-气浮台-减震台 h-HOA

浏览次数:4178 分类:Herz/Herzan/Spicer 气浮减震台 高精密气浮减震台

品牌:Herz, 型号:h-HOA

气浮减震台 h-HOA系列是日本HERZ公司研发的一款1D(垂直)减振类型系统。气浮减震台-光学减震台-气浮台-减震台  h-HOA系列 采用了HERZ研发的高阻尼空气弹簧和轻量高刚性蜂窝板搭配高阻尼框架,具有高硬度和高刚度的特点,使用简单,性价比高,主要侧重于垂直减振,适用于光学显微镜,干涉仪,轮廓仪等精密仪器,可以为用户提供优异的被动隔振性能。

产品描述:

气浮减震台-光学减震台-气浮台-减震台 h-HOA 是日本HERZ公司研发的一款1D(垂直)减振类型系统。产品采用了HERZ研发的高阻尼空气弹簧和轻量高刚性蜂窝板搭配高阻尼框架,具有高硬度和高刚度的特点,使用简单,性价比高,主要侧重于垂直减振,适用于光学显微镜,干涉仪,轮廓仪等精密仪器,可以为用户提供优异的被动隔振性能。

气浮减震台-光学减震台-气浮台-减震台 h-HOA

工作原理:

安装有测量和制造设备的地板或多或少会有振动。 如果这些振动对设备造成不利影响,最有效的解决方案则是使用光学减震台-隔震台(减振台),以便营造最适合该设备的条件。

 

被动隔震台以其独特的柔和运动,易于移动的形状和适当的重量来吸收传入的振动,并消耗振动能量进行隔振。因此,诸如防振橡胶和空气弹簧之类的柔软材料以及可以轻柔移动的零件是被动隔振台的重要元素。隔震台可以通过改变弹簧强度或增加弹簧数量来支撑数十吨的设备。

 

相对于防振支撑件(弹簧上)的总重量M,空气弹簧式隔振台旨在使静载荷下“弹簧压力受压面积S”,“弹簧内部压力P”和“弹簧数量N(支撑件的数量)”相乘的总数值保持平衡。当发生动态负载情况(由于M重心的移动而导致的不平衡状态)时,可变负载分量(ΔM)由机械阀自动校正,或者由封闭阀手动校正以校正内部压力。空气弹簧式隔振台使用弹簧材料的粘性阻力和封闭压力的空气(气体)阻力作为损失系数,为了改善隔振效果,空气弹簧内部容积(弹簧腔)与辅助气罐内部体积(阻尼室)之间通过节流孔(节流阀)彼此连接,并且通过节流孔进行空气阻尼。该辅助气罐是调节自然频率的主要因素之一。这种控制方法的优点是可以通过低成本的组件配置获得最大的效果,例如通过机械阀进行压力操作(压力IN / OUT / EXH)以及通过节流孔或速度控制器进行流速/流量调节。

 

产品特点:

  • 采用高阻尼空气弹簧
  • 隔振性能突出
  • 高刚度和高硬度
  • 使用简单
  • 性价比高

应用范围:

  • 光学显微镜
  • 干涉仪
  • 轮廓仪
  • 原子力显微镜
  • 微量天平
  • 材料测试

 

技术参数:

  • 型号:h-HOA   ※可选h-HOS
  • 减振方式:垂直方向-HERZ减振空气弹簧
  • 空气弹簧数:4-6
  • 阻尼方式:垂直方向通过节流孔进行空气阻尼
  • 固有频率:垂直方向约1.3Hz
  • 调平方式:带有3个机械式自动调平传感器
  • 供气方式:气源分开供气
  • 所需气压:0.3~0.7MPa(3~7kgf/c㎡) ※可选手动供气(LM)
  • 工作台材质:顶板-磁化不锈钢板5t ,底板-热轧低碳钢板 4.5t   ※可选消磁不锈钢板
  • 蜂窝板材质:铝/钢制蜂窝板   ※可选消磁不锈钢蜂窝板
  • 表面处理:攻丝M-6.25mm矩阵标准加工(可选) 表面未涂漆(※可选黑色涂料)
  • 承重力:150-1,000Kg(取决于具体型号)
  • 整体重量:197-3,400 Kg(取决于具体型号和面板材质)
  • 外形尺寸:取决于具体型号(107LA-6015LA)

升级选项:

  • 高阻尼框架
  • 面板选项:蜂窝板,石板和铸铁板

 

减振效果:

性能对比:以下数据显示了h-HOA铝制蜂窝板安装高阻尼框架前后的状态。通过数据可以看出,相对于一定的力,位移的频率逐渐衰减。其中,速度的衰减状态用时间表示。

气浮减震台-光学减震台-隔震台 h-HOA的减振效果图