精密隔振光学平台-光学平台-气浮光学平台 h-TDI

产品描述：

精密隔振光学平台-光学平台-气浮光学平台  h-TDI 系列 是日本HERZ公司研发的一款3D减振类型系统。该系列精密隔振光学平台改进了原始TDI减振系统的SHG技术，采用超高性能3D空气弹簧搭配高阻尼框架，可隔离三维六个自由度的振动，适用于光学显微镜，干涉仪，轮廓仪等精密仪器，可以为用户提供优异的被动隔振性能。系列是日本HERZ公司研发精密隔振光学平台的一款3D减振类型系统。该系列改进了原始TDI减振系统的SHG技术，采用超高性能3D空气弹簧搭配高阻尼框架，可隔离三维六个自由度的振动，适用于光学显微镜，干涉仪，轮廓仪等精密仪器，可以为用户提供优异的被动隔振性能。

Herz 光学平台 工作原理：

安装有测量和制造设备的地板或多或少会有振动。 如果这些振动对设备造成不利影响，最有效的解决方案则是使用光学平台-精密减振台-电镜防振台（减振台），以便营造最适合该设备的条件。

被动隔振台以其独特的柔和运动，易于移动的形状和适当的重量来吸收传入的振动，并消耗振动能量进行隔振。因此，诸如防振橡胶和空气弹簧之类的柔软材料以及可以轻柔移动的零件是被动隔振台的重要元素。被动隔振台可以通过改变弹簧强度或增加弹簧数量来支撑数十吨的设备。

相对于防振支撑件（弹簧上）的总重量M，空气弹簧式隔振台旨在使静载荷下“弹簧压力受压面积S”，“弹簧内部压力P”和“弹簧数量N（支撑件的数量）”相乘的总数值保持平衡。当发生动态负载情况（由于M重心的移动而导致的不平衡状态）时，可变负载分量（ΔM）由机械阀自动校正，或者由封闭阀手动校正以校正内部压力。空气弹簧式隔振台使用弹簧材料的粘性阻力和封闭压力的空气（气体）阻力作为损失系数，为了改善隔振效果，空气弹簧内部容积（弹簧腔）与辅助气罐内部体积（阻尼室）之间通过节流孔（节流阀）彼此连接，并且通过节流孔进行空气阻尼。该辅助气罐是调节自然频率的主要因素之一。这种控制方法的优点是可以通过低成本的组件配置获得最大的效果，例如通过机械阀进行压力操作（压力IN / OUT / EXH）以及通过节流孔或速度控制器进行流速/流量调节。

技术参数：

• 型号：h-TDI   ※可选h-TDIS
• 减振方式：垂直方向-HERZ减振空气弹簧，水平方向-Herz高性能水平振动隔离系统
• 空气弹簧数：4-6
• 阻尼方式：垂直方向通过节流孔进行空气阻尼，水平方向采用特殊橡胶的高性能阻尼
• 固有频率：垂直方向约1.3Hz/水平方向约0.6Hz(搭载均等最大重量时）
• 调平方式：带有3个机械式自动调平传感器
• 供气方式：气源分开供气
• 所需气压：0.3～0.7MPa（3～7kgf/c㎡） ※可选手动供气
• 工作台材质：顶板-磁化不锈钢板5t ,底板-热轧低碳钢板 4.5t ※可选消磁不锈钢板
• 蜂窝板材质：铝/钢制蜂窝板 ※可选消磁不锈钢蜂窝板
• 表面处理：攻丝M-6・25mm矩阵标准加工（可选） 表面未涂漆（※带黑色涂料）
• 承重力：150-1,000Kg（取决于具体型号）
• 整体重量：197-3,400 Kg（取决于具体型号和面板材质）
• 外形尺寸：取决于具体型号(107LA-6015LA)

升级选项：

• 高阻尼框架
• 面板选项：根据需求可选高阻尼蜂窝板，石板和铸铁板

减振效果-Herz 光学平台：

h-TDI系列 电镜防振台可有效降低垂直方向和水平方向上的振动情况，搭配高阻尼框架，可将外力冲击导致的位移最小化。